ITO 薄膜的制备方法有蒸发、溅射、反应离子镀、化学气相沉积、热解喷涂等, 但使用多的是反应磁控溅射法。 ITO膜层的厚度不同，膜的导电性能和透光性能也不同。一般来说，在相同的工艺条件和性能相同的PET基底材料的情况下，ITO膜层越厚，PET-ITO膜的表面电阻越小，光透过率也相应的越小。
ITO 导电膜的挑战 ITO 透明导电膜仍是当前触控面板主要的应用材料，但其面临的挑战也不少：主要原料铟的蕴藏量日益减少、铟价持续走高导致原料成本偏高、过度集中单一技术等等，曾有一段时间In 金属的供应非常不稳定，国外企业通过实行回收制度，摆脱对中国的依赖之后(中国铟储量占全球的50%以上)，问题得以解决。找到材料昂贵的ITO 导电膜替代方案，已成触控面板厂降低模组成本的重要途径。 除去材料成本，现有ITO 导电膜还存在诸多不足，触摸屏用ITO 导电膜要想使透光率达到90%以上，就必须使用防反射膜;用在电子纸的话则存在过度弯曲时容易破裂的危险;难以在保持透射率的同时降低方块电阻值;发淡黄光等。 目前，以ZnO 基薄膜、导电高分子、碳纳米管等为代表的新材料取代ITO的发展已经开始，我们预计在未来3 年左右会占有一席之地。 新型透明导电膜 ZnO基薄膜 目前，ZnO基薄膜的研究进展迅速，材料性能已可与ITO相比拟，从原来看，ZnO使用的是Zn，其产量远高于ITO所使用的In，材料成本低。 ZnO基导电膜中以AZO薄膜的研究为广泛，它的突出优势是原料易得，制造成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且在等离子体中稳定性好，因而有可能成为ITO的替代产品。另外，GZO与ITO同为无机材料，电阻值、光穿透率表现相近，且价格具有吸引力，也是目前被看好的替代方案之一。业界如台湾工研院已携手台湾设备厂启动GZO薄膜试产，可将厚度仅0.1毫米(mm)的GZO涂布于玻璃上，并将锁定软性背板，推行与卷对卷(Roll to Roll )制程相容的解决方案，目前主要还是良率的问题。 导电高分子 随着性能的不断提高，导电高分子材料被不断用于电子器件的生产当中，其能用印刷技术制造，且能应用在弯曲性电子产品上。在众多导电高分子材料中，目前受关注度高的是PEDOT(聚乙撑二氧噻吩)，像普利司通(Bridgestone)2009年发布的电子纸试制品上就采用了PEDOT类高分子，科研人员特别是日本研究机构一致在致力于PEDOT类导电高分子的研究，目前的难点在于如何同时确保透光性和导电性。 碳纳米管 碳纳米管作为一维纳米材料，重量轻，六边形结构连接，具有许多异常的力学、电学和化学性能，是纳米的延伸技术，包括纳米Ag线技术、石墨烯薄膜等等。目前在纳米Ag线技术较成熟的以美商康世医疗(Carestream Advanced Materials)的FLEXX透明导电薄膜为主，具备高挠曲性、低阻值、高透光率等优势，能作为取代ITO导体材料，还有一些厂商尝试利用纳米印刷技术将Ag丝在薄膜上印刷图案来作为透明电极使用，这些厂商包括大日本印刷和富士胶片。韩国三星集团联合一些科研机构在2010年用石墨烯薄膜制做了30英寸的柔性透明电极。 国外公司进展：日本企业先行 新型透明导电膜的研发仍以国外企业特别是日本厂商为主，我们在这里列举大日本印刷、富士胶片、东芝等厂商的研发进展情况。 国内公司相关新型透明导电膜产品的进展 苏大维格(SZ300331)$(300331)：纳米印刷透明导电膜处于中试阶段 公司新型透明导电膜由参股子公司纳格光电(公司持股30%)负责研发生产销售，纳格光电的法定代表人崔铮曾任英国卢瑟福国家实验室微结构中心微纳米技术项目负责人，目前，纳格光电已开发出一种新型具有自主知识产权的透明导电膜产品，该产品系通过在薄膜上刻蚀纳米结构并附加导电材料制备的一种透明导电介质，可以应用于手机、互动电视等的触摸显示屏、透明电磁屏蔽、薄膜太阳能电池与有机发光显示器件中的透明电极等。目前纳格光电产品尚处于中试阶段，未实现销售。查看原图结构网格透明导电膜(2010年专利)，非ITO导电：小于10欧方，透明度85%，柔性——大尺寸透明触摸屏必选(50欧方)，ITO导电膜随着面积的增大欧方成几何上升，透明导电导光材料要跟触摸屏厂商合作，核心专利：纳米图形化+压印+填充技术，目前纳米图形化+压印已经成熟，填充已经实现半自动化，目前朝自动化方向发展。拟销售价格：150元~200元/平米;ITO材料成本：350元~500元/平米。 锦富新材(SZ300128)$(300128)：从事ZnO透明导电膜的研发生产 乐凯胶片(SH600135)$(600135)：银盐法透明导电膜已经面市 乐凯透明导电膜结合了公司长期积累和擅长的银盐胶片制备技术、膜精密涂布技术与金属化学镀技术，于2009年底研制成功，历时近四年时间研制开发，已申请了6件中国专利，1件PCT国际专利。透明导电膜导电层由银、铜等四种有色金属组成，采用超细网格设计，具有很好的导电性能，系列产品包括手机防辐射膜、视窗屏蔽膜(用于显示器、保密部门玻璃窗口等的电磁屏蔽)、触摸屏用导电膜，与ITO导电膜相比，银盐法透明导电膜节约了稀有贵金属铟，降低了生产成本。目前该项目已列入公司产业化项目计划，是公司新材料领域中的主导产品。
ITO导电膜拥有较高的透光率和较低的电阻率 ITO导电膜是一种具有导电功能的氧化铟锡薄膜，基材通常为PET材质，是在PET薄膜上形成以稀有金属In(铟)为主要原料的ITO(Indium Tin Oxide)靶材而制成的。 作为一种n型半导体材料，ITO导电膜具有较高的自有载流子浓度(电阻率低)、禁带宽度1、可见光谱区光透射率高等光学特征，基于透光率和导电性能较好，ITO导电膜被广泛应用于平板显示器件、太阳能电池等诸多领域。 ITO导电膜的主要特性包括：(1)导电性能好，电阻率可达10-4Ω∙ cm;(2)可见光透光率高，可达85%以上;(3)对紫外线具有吸收性，吸收率在85%以上;(4)对红外线具有反射性，反射率在80%以上;(5)对微波具有衰减性，衰减率也可达85%(6)薄层硬度高，耐磨，耐化学腐蚀;(7)膜层加工性能好，便于刻蚀等。高的可见光透光率与相当低的电阻率结合在一起，使ITO薄膜成为目前综合性能优异的透明导电材料之一。 ITO导电膜制程简介 ITO 薄膜的制备方法有多种，主要分为两大类：物理法和化学法，物理法包括磁控溅射、真空蒸发、离子增强沉积、激光脉冲沉积等，化学法包括热解喷涂、化学气相沉积、溶胶-凝胶法等，在这些制备方法中目前使用多的是磁控溅射法。 ITO导电膜的市场竞争格局 日本企业几乎垄断ITO导电膜市场 从触摸屏的产业链结构来看，上游材料如玻璃基板、PET基板、特殊化学品等主要掌握在日、美等厂家的手中，尤其是日本厂家占据了比较高的市场份额，而其他材料除了ITO玻璃国内有有厂商可以生产外，主要技术也掌握在日本厂家手中。目前国内触屏生产商所用的ITO 导电膜大部分依赖日本、韩国等国家进口，业内主要供应商有日东电工、尾池工业及帝人化成、东洋纺等厂商，其中日本日东约占每年国内采购量的50%。 ITO导电膜近期的发展史也蕴育着产业内的竞争格局变化。 长期以来，日本厂商一直垄断触控屏用ITO导电膜的供应。在触控面板用ITO导电膜方面，2007年以前业内主要使用日东电工、尾池工业、帝人化成和东洋纺等日本厂商的产品，日本厂商一度占到全球90%左右的市场份额。 在触控面板发展之初，PDA是触控屏的主要增长动力，但PDA市场由于受到智能手机(非触摸式)的替代，其发展一直严重低于市场预期，因此这些厂商产能扩张速度非常缓慢，根据Displaybank的数据，2007年ITO 导电膜的全球总产量为310万平方米，较2006年相比仅增长了13.4%，我们估计主要还是用在液晶显示器的透明电极上。 2007年受到苹果 “iPhone” 使用电容式触摸屏的影响，手机用触摸屏增长迅速，ITO导电膜的需求也开始出现大幅增长，而上游ITO导电膜的产能增长速度滞后，供需关系上造成供应紧张。从2008年ITO导电膜的世界市场份额来看，日本厂商整体市场份额下滑到63%，各厂商来看，拥有“2 Layer”这一自主产品的日东电工占20%，居首位;尾池占16%，排在第二位;帝人化成和韩国SKC Haas显示薄膜分别占11%，排在第三位;日本郡是占7%，排在第五位;第六位以后的厂商份额合计为35%(万顺股份公司公告)。由此可见，2007年ITO薄膜生产不足导致韩国和台湾等新兴厂商的份额增加。 随着国内触摸屏行业的大幅扩张，作为上游的ITO导电膜生产企业近年来也逐步起步，万顺股份、欧菲光等企业涌现，由于中国在ITO导电膜的主要原材料铟储量占到全球的50%以上，国内企业在材料成本上占有一定生产优势，像更上游的ITO靶材“产品用的靶材还是依赖进口，国内靶材厂商的产品质量已大大提高，在国内ITO导电玻璃厂家，已大量开始使用国产靶材，只是国产靶材的价格优势不明显，所以公司少有采购”(长信科技2011年年报)，我们认为ITO导电膜在中低端产品中的应用情形与ITO靶材较为类似。而在高端手机电容屏领域，日东电工的“2 Layer”布线的痕迹很淡，因此国际手机大厂都要求使用日东电工的产品，目前日东电工的该专利已经到期，如果国内厂商能够突破技术壁垒实现进口替代，成本可以降低很多，但是目前来看技术难度很大，且50μ级别的光学级PET基板都被日本企业垄断，国内厂商很难买到，这样稳定量产很难保证，这样大多数高端手机厂商在下订单时都会指定模组厂商使用日东的导电膜，从而来保证上游零部件供应的稳定性。因此我们认为短期内国内ITO导电膜生产厂商定位的还是中低端消费电子产品为主。 ITO导电膜投产计划产能100万平米/年 万顺股份目前已经形成了高中档包装材料、铝箔、导电膜“三驾马车”并驾齐驱、协同发展的局面，年产100万平方米的导电膜生产线项目已于今年8月正式投产。 欧菲光(SZ002456)：ITO导电膜已正式量产 从上游ITO导电膜材料到触摸屏模组生产，在目前国内的触摸屏厂商中，欧菲光已成为产业链为完整企业之一。 南玻A(SZ000012)：ITO导电膜有计划但还未投产 南玻A目前形成了平板玻璃、工程玻璃、太阳能产业链、精细玻璃四个事业部，其中ITO导电膜放在了精细玻璃事业部，在吴江平板显示产业基地生产，目前来看原定于2013年初建成投产的72万平米/年ITO导电膜项目可能会被推迟。
